SJ6000 激光干涉仪
激光干涉仪以光波为载体，其光波波长可以直接对米进行定义，且可以溯源至国家标准，是迄今公认的高精度，高灵敏度的测量仪器，在高端制造领域应用广泛。
SJ6000激光干涉仪具有测量精度高，测量范围大，测量速度快，最高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长，角度，直线度，垂直度，平行度，平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性，角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移分析，速度分析，加速度分析，FET分析，如丝杆导轨的动态特性分析，振动分析，驱动系统的响应特性分析等。
SJ6000功能特点 1.精度高 SJ6000激光干涉仪以干涉技术为核心，其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度，抗干扰能力强，长期稳定性好的激光频率输出;采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响 ，保证干涉光路稳定可靠。
2.功能广（1）可实现线性，角度，直线度，垂直度，平行度，平面度，回转轴等几何参量的高精密测量。（2）可检测数控机床，三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度，重复定位精度等，以及导轨的俯仰角，扭摆角，直线度，垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）支持手动或自动进行环境补偿。
3.软件强 （1）友好的人机界面；（2）丰富的应用功能模块；（3）向导式的操作流程；（4）简洁化的记录管理；（5）支持中文简体，中文繁体，英文和俄文界面；（6）支持企业专属模板定制。
4.标准多 内置13份标准，包含GB，ISO，英标，美标，德标，日标等国内外通用标准。可根据各种不同的机床标准分析处理数据，并可打印相应的曲线图和数据报告。
技术指标：
系统性能：1.稳频精度：0.05ppm
2.动态采集频率：50kHz
3.预热时间：≤6分钟
4.工作温度范围：（0-40）℃
5.环境温度范围：（0-40）℃，环境湿度：（0~95）%RH
6.存储温度范围：-20℃~70℃
环境补偿示值误差：1.空气温度传感器:±1.0℃(0-40) ℃，分辨率0.01 ℃
2.材料温度传感器：±1.0℃(0-55) ℃，分辨率0.01 ℃
3.空气温度传感器：±5%RH（0-95）%RH
4.大气压力传感器：±0.1kPa(65-115)kPa
线性测量：1.测量距离：（0-80）m(无需远距离线性附件)
2.测量精度：0.5ppm（0-40）℃
3.测量分辨率：1nm
4.测量最大速度;4m/s
角度测量：1.轴向量程：（0-15）m
2.测量范围：±10°
3.测量精度：±（0.02%R+0.1+0.024M）″(R为显示值，单位：″；M为测量距离，单位：m)
4.测量分辨率为：0.1″
平面度测量：1. 轴向量程：（0-15）m
2. 测量范围：±1.5mm
3.测量精度：±（0.02%R+0.02M²）µm (R为显示值，单位：µm；M为测量距离，单位：m)
4.基板尺寸：180mm可调，360mm可调
5.测量分辨力：0.1µm
直线度测量：
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轴向量程 |
测量范围 |
测量精度 |
分辨力 |
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短距离 |
（0.1-4.0）m |
±3mm |
±(0.5+0.25%R+0.15M²)µm |
0.01µm |
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长距离 |
(1.0-20.0)m |
±3mm |
±(5.0+2.5%R+0.015M²)µm |
0.1µm |
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注：R为显示值，单位：µm；M为测量距离，单位：m |
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垂直度测量：
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轴向量程 |
测量范围 |
测量精度 |
分辨力 |
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短距离 |
（0.1-3.0）m |
±3/M mm/m |
±(2.5+0.25%R+0.8M²)µm/m |
0.01µm/m |
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长距离 |
(1.0-15.0)m |
±3/M mm/m |
±(2.5+2.5%R+0.08M²)µm/m |
0.1µm/m |
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注：R为显示值，单位：µm；M为测量距离，单位：m |
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回转轴测量：
1. 型号：WR50自动精密转台 5.最高转速：10rpm
2. 角度测量范围;（0-360）° 6.重量：1.9kg
3. 测量精度;±1″ 7.供电方式;可充电锂电池
4. 分辨力：0.1″ 8.通电方式：无线蓝牙传输
